Вырабатывают из малосернистых безпарафинистых нефтей путем глубокой очистки их узких фракций и с применением дополнительно 1-2 ступеней тонкой вакуумной дистиляции. Применяются в качестве рабочей жидкости в вакуумных насосах.
Специфические условия работы вакуумсоздающей техники требуют обеспечения в вакуумных маслах жестких показателей по вязкости, давлению насыщенных паров, предельному остаточному давлению, а также стабильности против окисления.